Q.Áø°øÆßÇÁ¸¦ ±¸¸ÅÇÏ·Á°í ÇÕ´Ï´Ù. Àú·ÅÇÏ¸é¼ ¼º´É ÁÁÀº Á¦Ç°ÀÌ ÀÖÀ¸¸é ¼Ò°³ Á» ºÎŹµå¸³´Ï´Ù. Áø°øÆßÇÁ °í¸£´Â ¹æ¹ýµµ ¾Ë·ÁÁֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. A.¾î¶² Àåºñ¿¡ ÁÖ·Î »ç¿ëÇÏ´ÂÁö¿¡ µû¶ó ÃßõÇÏ´Â ¸ÞÀÌÄ¿¿Í ¿ë·®ÀÌ ´Þ¶óÁý´Ï´Ù. Áø°øÆßÇÁÀÇ ¿ë·®Àº º¸Åë 'CFM(Cubic Feet per Minute)'À¸·Î Ç¥±âµË´Ï´Ù. ºÐ´ç ¼¼Á¦°öÆÄÆ®, Áï ftᶾ/m¸¦ ¶æÇÕ´Ï´Ù. ºÐ´ç ¸®ÅÍ, Áï LPM ´ÜÀ§¸¦ ¾²¸é ÁÁ°ÚÁö¸¸ ÇÇÆ® ´ÜÀ§¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â ¹Ì±¹»ê Á¦Ç°ÀÌ ¸¹¾Æ¼ ¾î¿ ¼ö ¾ø´Â µíÇÕ´Ï´Ù. 1CFMÀº ¾à 20LPM¿¡ ÇØ´çÇÕ´Ï´Ù. Áø°øÆßÇÁ¸¦ °í¸¦ ¶§´Â »ç¿ëÇÒ ´ë»ó ±â±âÀÇ ¿ë·®À» ¸ÕÀú »ìÆìºÁ¾ß ÇÕ´Ï´Ù. ¼ÒÇü ³Ãµ¿±â°¡(°¡Á¤¿ë ³Ã³¹æ±â µî)´Â ´ë·« 100~120LPM, ÁßÇü ³Ãµ¿±â±â(Ä¥·¯ µî)´Â 200LPM ³»¿Ü, ´ëÇü ³Ãµ¿±â±â´Â ±× ÀÌ»óÀÇ ÅäÃâ·®À» °¡Áø Áø°øÆßÇÁ°¡ Àû´çÇÏÁö ¾ÊÀ»±î ÇÕ´Ï´Ù. ÅäÃâ ´É·ÂÀÌ Çâ»óµÉ¼ö·Ï ¹«°Ô¿Í °¡°ÝÀº ¿Ã¶ó°©´Ï´Ù. Áø°øµµ´Â 0.1Torr ÀÌÇÏ Á¤µµ¸¦ ±ÇÀåÇÕ´Ï´Ù. º¸Åë 2´Ü Áø°øÆßÇÁ¸é ¸¸Á·½º·¯¿î Áø°øµµ ¼öÄ¡°¡ ³ª¿À´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ±×¸®°í °ËÅä ÇÒ °ÍÀÌ A/S¿Í ºÎÇ° ¼ö±Þ ¿©ºÎÀÔ´Ï´Ù. ¼Ò¸ð¼º ºÎÇ°ÀÇ ±¸¸Å°¡ °¡´ÉÇÏ°í, A/S°¡ ¿øÈ°ÇÑ Á¦Ç°ÀÌ ÁÁ½À´Ï´Ù. ¶Ç Áø°øµµ°¡ ³·¾ÆÁú¼ö·Ï Áø°øÆßÇÁÀÇ ¼º´ÉÀº ÀúÇ쵃 ¼ö ¹Û¿¡ ¾ø±ä ÇÏÁö¸¸ Áø°øÆßÇÁÀÇ ¼º´É ÀúÇÏ°¡ ÀÛÀº Á¦Ç°À» ±¸¸ÅÇÏ´Â °ÍÀÌ Áß¿äÇÕ´Ï´Ù. ±×·¡¾ß ¿øÇÏ´Â Áø°øµµ±îÁö Á¶±Ý ´õ ºü¸£°Ô ÀÛ¾÷ÀÌ ÀÌ·ïÁú ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ÇÏÁö¸¸ ¸ðµç Áø°øÆßÇÁµéÀÌ ´ë±â¾Ð¿¡¼ÀÇ ¹è±â·®¸¸À» Ç¥±âÇϹǷΠ¼º´É ÀúÇÏ°¡ ÀÛÀº Á¦Ç°À» ã´Â°Ô ½±Áö´Â ¾Ê½À´Ï´Ù. ¿äÁò ±¹³»¿¡¼ ÆǸŵǴ ¿Ü±¹»ê À¯¸í ºê·£µå, Àú°¡Çü Áß±¹»ê, ±¹»êÁ¦Ç°À» ½ÇÁ¦·Î »ç¿ëÇغ¸¸é ¼º´É Â÷ÀÌ°¡ Å©°Ô ³ªÁö´Â ¾Ê½À´Ï´Ù. ´Ù¸¸ ³»±¸¼ºÀº À¯¸í ¸ÞÀÌÄ¿ Á¦Ç°ÀÌ Á» ´õ ¿ì¼öÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë°í ÀÖ½À´Ï´Ù. |